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GRUMTF-3型手動探針臺

GRUMTF-3型手動探針臺
產(chǎn)品簡介:GRUMTF-3型手動探針臺產(chǎn)品型號: GRUMTF-3適用范圍:適用于放大器、濾波器、開關(guān)、衰減器、負載等半導(dǎo)體裸芯片或其他基于陶瓷基片、硅基片、砷化鎵、氮化鎵等材料的厚膜、薄膜、半導(dǎo)體工藝的微波器件、組件、模塊的高頻測試。產(chǎn)品特點:國產(chǎn)探針,測試頻率最高可達67GHz,處于國內(nèi)領(lǐng)先水平采用高精度微波

GRUMTF-3型手動探針臺

產(chǎn)品型號:     GRUMTF-3

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適用范圍:

適用于放大器、濾波器、開關(guān)、衰減器、負載等半導(dǎo)體裸芯片或其他基于陶瓷基片、硅基片、砷化鎵、氮化鎵等材料的厚膜、薄膜、半導(dǎo)體工藝的微波器件、組件、模塊的高頻測試。

產(chǎn)品特點:

國產(chǎn)探針,測試頻率最高可達67GHz,處于國內(nèi)領(lǐng)先水平

采用高精度微波探針,針地間距10μm-500μm

高倍電子顯微鏡實時監(jiān)控探針和芯片連接

千分尺步進操控探針連接位置,超高精度,X-Y-Z雙面六向可調(diào)

采用負壓發(fā)生器將待測件吸附在測試平臺上,同時可配置限位片

校準件:

采用TRL陶瓷校準片,可以通過反射、延時、傳輸將儀表的測試參考面準確校準到待測件的兩端。校準片一般為氧化鋁陶瓷基片,尺寸特別微小時也可采用半導(dǎo)體硅基片,支持頻率最高可達67GHz。使用時先在儀表上設(shè)置校準件參數(shù),然后按儀表提示依次將校準件放置到測試平臺上調(diào)整探針連接進行校準。

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測試平臺:

GRUMTF-3的通用性極強,探針雙面六項可調(diào),步進精度極高。不同尺寸的裸芯片可由負壓發(fā)生器吸附在測試平臺上,調(diào)節(jié)探針連接即可測試。探針分為GSG和GS兩種,對于只有單邊有接地面的待測件,也可通過限位片定位并補齊接地面通過GSG探針測試。

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